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Industrien · Halbleiter

Glaskomponenten für die Halbleiterfertigung

Hitze, Plasma und Chemie: In der Halbleiterfertigung müssen Glaskomponenten Prozessstabilität ohne Kontamination liefern. MDI bearbeitet Träger-, Abdeck- und Anlagenglas — für Halbleiter-Fertigungsanlagen und Wafer-Processing, ab 30 µm, vom Prototyp bis zur Serie.

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Anwendungen

Was wir für die Halbleiterfertigung liefern

Glaskomponenten entlang der Halbleiter-Wertschöpfungskette — von ultradünnen Glass Carriers bis zu Präzisionsteilen für Fab-Anlagen, Rückverfolgbarkeit inklusive.

Ultradünnglas

Laserschneiden ab 30 µm (CO2); SOLID-D®-Schneidwerkzeuge für Glas bis 100 µm — Träger, Abdeckgläser, Spacer. Wachsender Markt: High-Index-Glaswafer für die AR-Waveguide-Fertigung.

Rückverfolgbarkeit

In-Glas-Data-Matrix-Markierung mit 20 µm Strukturgröße.

Coating-Abtrag & Strukturierung

Selektiver, schichtgenauer Abtrag auf beschichtetem Glas.

Komponenten für Fab-Anlagen

Laserbohren ab Ø 1 mm, Stufenbohrungen und Innenkonturen.

Markt · Advanced Packaging

Glas wandert ins Package

Advanced Semiconductor Packaging verlagert sich Richtung Glas: Glass-Core-Substrate, Panel-Level-Packaging (PLP), Carrier-Wafer für heterogene Integration und Co-Packaged Optics — getrieben von KI- und High-Performance-Computing-Chips. Führende Chip- und Substrathersteller investieren in Glass-Core-Technologie. Dieser Übergang macht präzise Glasbearbeitung zum entscheidenden Glied: Vereinzelung, Kantenqualität, splitterfreies Schneiden dünner Paneele und die Handling-Komponenten rund um den Prozess.

Teil der Wertschöpfungskette. Die nächste Package-Generation entsteht in Zusammenarbeit entlang der Wertschöpfungskette — Materialhersteller, Substrat-Entwickler, Bearbeitungspartner. MDI ist das Bearbeitungsglied: Vereinzelung, Kantenbearbeitung, Prototypen, Kleinserien. Die Zusammenarbeit beginnt vor der ersten Serienspezifikation — senden Sie uns Ihre.

Kennzahlen

Prozessfenster

ab 30 µmUltradünnglas-Schnitt
Ø ≥ 1 mmlasergebohrte Löcher
20 µmStrukturgröße der Markierung
> 200 MPaBiegefestigkeit nach dem Schnitt, je nach Glasdicke
Anwendungsbeispiel

Präzisionskomponenten für Fab-Anlagen

Material: Glas, t = 4 mm. Geometrie: Innenkontur 58 × 58 mm, Stufenbohrungen sowie lasergebohrte Löcher ab Ø 1 mm. Ergebnis: berührungslose Bearbeitung ohne Mikrorisse — Beispielgeometrie aus dem MDI-Anwendungsportfolio.

FAQ

Können Sie Bauteile aus Quarzglas (Fused Silica) bearbeiten?

Die Eignung hängt von Material und Geometrie des Bauteils ab. Senden Sie uns Ihre Spezifikation — wir prüfen sie und melden uns.

Bearbeiten Sie Glass-Core-Substrate oder Panel-Level-Packaging-Formate?

Das hängt von Format, Dicke und Prozessschritt ab. Senden Sie uns Ihre Spezifikation — wir prüfen die Machbarkeit im Einzelfall.

Lohnfertigung

Glaskomponenten vom Prototyp zur Serie

Träger, Abdeckgläser und Anlagenteile auf MDIs eigenen Laser- und Schneidrädchen-Anlagen — geringe Stückzahlen, häufige Iteration, keine Kapitalbindung. Zeichnung senden, wir übernehmen den Rest.

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Kontakt

Glaskomponenten für Ihre Fertigung? Sprechen wir.

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